该项目采用苯甲醚化学交换法生产硼-11同位素,是上海化工研究院继同位素氢-2、氮-15、氖-22、氧-18、碳-13等成功开发并实现产业化后的又一个同位素产品,标志着上海化工研究院精密精馏技术在同位素分离领域又一次实现重要突破。
上海化工研究院与山东合益气体股份有限公司于2020年1月签订合作协议,开展该项目的科研攻关;2021年9月完成中试;2022年3月启动生产装置建设;022年10月进入试生产阶段,实现一次性开车成功,项目装置的各关键工艺参数均达到指标。目前,项目团队正在围绕提高产品品质、发挥装置产能等开展进一步的优化提升,为规模化生产夯实基础。
据悉,高丰度三氟化硼-11是高端芯片、面板等制造中重要的特种气体材料,与普通丰度三氟化硼掺杂相比,可以显著提升芯片的稳定性和抗干扰能力,应用于通讯、航空航天等领域。在上海化工研究院实现技术突破之前,全球仅美国和格鲁吉亚拥有3套该产品的生产装置,我国相关技术和产品完全依赖进口。